Специалисты из Aalto University (Финляндия) и Вашингтонского университета продемонстрировали возможность создания объемных конструкций с нанометровыми габаритами, используя сочетание технологий нанолитографии и ионной обработки.
Разработке этого процесса помогло открытие, сделанное при изучении деформации тонких металлических пленок в результате реактивного ионного травления. Учеными была обнаружена устойчивая зависимость радиуса искривления двухслойных металлических полосок от их ширины. Далее эксперименты прояснили, что изгиб происходит вперед, если металл нижнего слоя более реактивен к ионам, чем верхнего.
Этот механизм удалось адаптировать для нужд нанопроизводства: сфокусированный ионный пучок вызвал локальные деформации нанометрового размера. Получаемые структуры оказались весьма прочными и устойчивыми к воздействию внешних факторов, таких как нагрев и электрический разряд.
У данной технологии, названной ионной самосборкой (ion-assisted self-assembly), могут быть многочисленные практические приложения. В качестве примера, в статье Advanced Materials, показано, как изготовленные таким способом структуры могут захватывать и удерживать микрометровые частицы.
| 