Изобретение относится к получению износостойких сверхтвердых покрытий,
а именно к формированию алмазоподобных покрытий, и может быть
использовано в металлообработке, машиностроении, нанотехнологии,
медицине и электронике. Проводят предварительную плазменную очистку
поверхности изделия в вакуумной камере ускоренными ионами при давлении
10-3-10 Па. Затем наносят плазменным методом адгезионный
слой толщиной 1-500 нм из металла, выбранного из группы, включающей
алюминий, хром, цирконий, титан, германий, или из кремния, или из их
сплавов, при одновременном приложении к изделию постоянного или
импульсного отрицательного напряжения 1-1500 В. Затем наносят
переходный слой толщиной 1-500 нм, состоящий из смеси углерода и
металла, входящего в группу, содержащую алюминий, хром, цирконий,
титан, германий, или кремния, или из их сплавов, при изменении по
возрастающей концентрации углерода в этой смеси от 5-95 ат.% и при
одновременном приложении к изделию постоянного или импульсного
отрицательного напряжения 1-1500 В. Затем наносят по меньшей мере один
слой углеродной алмазоподобной пленки катодным распылением графита, или
лазерным распылением графита, или плазменной деструкцией
углеродсодержащих газов или паров углеродсодержащих жидкостей.
Повышается адгезия, износостойкость и температурная стабильность
алмазоподобного покрытия.
Если Вас заинтересовало изобретение, то более подробную информацию Вы можете найти на сайте www1.fips.ru
|
